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低温成長GaNキャップ層を用いたAlGaN/GaN HFET(化合物半導体IC及び超高速・超高周波デバイス)

忠義 出口,英司 脇,悟 小野, 明一 山下, 厚 鎌田,敦 中川,博康 石川,孝志 江川

mag（2006）

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