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纳秒激光表面改性对Ta 2 O 5 /SiO 2 介质膜飞秒激光诱导损伤行为的影响

陈顺利,赵元安,高鹏鹏,李大伟,贺洪波,邵建达,范正修

mag（2012）

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关键词
thin films,surface modification
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