J2240302 シリコンインゴット中の破壊強度と破壊靱性における部位依存性([j224-03]『マイクロ・ナノ機械の信頼性』のための材料創製・測定・解析技術 シリコンの破壊と疲労)
年次大会 : Mechanical Engineering Congress, Japan（2014）
Key words
3 point bending test,fracture strength,fracture toughness
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