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Oxygen Plasma Effect on AlGaN/GaN HEMTs Structure Grown on Si Substrate

Dong Hyeok Seo, S M Kang,Dong Wha Lee, Du Jin Ahn, Hee Bin Park, Youn Jun Ahn,Min Soo Kim,Yu Kyeong Kim, Ho Jun Lee,Dong Hun Song, J H Kim, Jin Su Bae,Hoon Young Cho

mag（2013）

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关键词
2deg,defect,hemt
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