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6AM2-A-8 スパッタ法で作製したPZT薄膜積層アクチュエータ(6AM2-A マイクロナノプロセス技術I(センサシンポジウムとの合同セッション))

真哉 岸本,裕一 辻浦,文弥 黒川,博隆 肥田,伊策 神野

mag（2013）

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关键词
sputtering,piezoelectric
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样例
生成溯源树，研究论文发展脉络
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