投影光刻物镜的计算机辅助装调
Acta Optica Sinica（2014）
Abstract
针对投影光刻物镜苛刻的像质要求,将计算机辅助装调(CAA)技术引入投影光刻物镜的装调过程中,建立了相应的数学模型.选取33个视场Fringe Zernike多项式的4～37项,以及畸变作为校正对象,并选取19个结构参量作为补偿器.通过将CODE V的宏功能和Matlab结合,采集灵敏度矩阵和像质数据.提出用奇异值分解求加权最小二乘解的方法计算补偿量,通过权重因子实现对不同视场上不同Zernike项系数或畸变的改进.将补偿后光刻物镜的性能和理想光刻物镜对比,发现相比于设计镜头,装调后镜头的平均波前均方根(RMS)大约差0.004λ,平均畸变大约差1 nm,该方法可以将系统波像差和畸变恢复到接近设计水平.
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Key words
optical design,computer-aided alignment,lithographic lens,singular value decomposition,distortion
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