SiGe/SOI構造の酸化現象とその解析(薄膜(Si,化合物,有機,フレキシブル)機能デバイス・材料・評価技術)政典 田中, 達夫 大賀,泰造 佐道,正信 宮尾siam international conference on data mining（2007）引用 22|浏览2暂无评分AI 理解论文溯源树样例生成溯源树，研究论文发展脉络Chat Paper正在生成论文摘要
