反射電子エネルギー分光法(REELS)によるHfSiO_x膜の評価(極薄ゲート絶縁膜・シリコン界面の評価技術・解析技術)雄一 上牟田,正道 鈴木,恒洋 井野,正浩 小池,彰 西山siam international conference on data mining(2003)引用 23|浏览2暂无评分关键词high kAI 理解论文溯源树样例生成溯源树,研究论文发展脉络Chat Paper正在生成论文摘要