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在清言上使用
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反射電子エネルギー分光法(REELS)によるHfSiO_x膜の評価(極薄ゲート絶縁膜・シリコン界面の評価技術・解析技術)

雄一 上牟田,正道 鈴木,恒洋 井野,正浩 小池,彰 西山

siam international conference on data mining（2003）

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关键词
high k
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