多層銅配線とハイブリッド Low-k 構造 (porous-PAr/porous-SiOC(k=2.3/2.3) を用いた密着性の研究と密着性エネルギーの改善達矢 宇佐美,政由 田上,桂 渡邊, 隆季 亀嶋, 秀顕 増田, 美代子 島田,聡文 側瀬,恵永 香川,直文 中村,秀史 宮島,宏 成瀬,容幸 榎本, 友久 北野,誠 関根siam international conference on data mining（2008）引用 23|浏览8暂无评分AI 理解论文溯源树样例生成溯源树，研究论文发展脉络Chat Paper正在生成论文摘要
