ハフニウム酸化物への元素添加効果 : 第一原理計算による検討(ゲート絶縁薄膜,容量膜,機能膜及びメモリ技術) 利紀 中山, 裕 川崎,琢也 丸泉siam international conference on data mining(2011)引用 23|浏览1暂无评分AI 理解论文溯源树样例生成溯源树,研究论文发展脉络Chat Paper正在生成论文摘要