14nm世代以降に向けたアモルファス金属ゲートによるFinFETのV_tおよびG_mばらつき抑制技術(IEDM特集(先端CMOSテバイス・プロセス技術))貴 松川, 永勲 柳,亘 水林,順一 塚田,洋美 山内,和彦 遠藤,由紀 石川,真一 大内,裕之 太田,真司 右田,行則 森田,明植 昌原siam international conference on data mining(2013)引用 23|浏览5暂无评分AI 理解论文溯源树样例生成溯源树,研究论文发展脉络Chat Paper正在生成论文摘要