高信頼メタル/high-k CMOS SOI FinFETsのための高温イオン注入技術(先端CMOSデバイス・プロセス技術(IEDM特集))亘 水林,良樹 中島,由紀 石川,貴 松川,和彦 遠藤,真一 大内,順一 塚田,洋美 山内,真司 右田,行則 森田,裕之 太田,明植 昌原siam international conference on data mining(2014)引用 23|浏览10暂无评分AI 理解论文溯源树样例生成溯源树,研究论文发展脉络Chat Paper正在生成论文摘要