多功能抗激光损伤高反射膜
Chinese Journal of Optics and Applied Optics（2010）
Abstract
为了能同时满足半导体激光器和YAG激光器对薄膜的特殊要求,在分析高反射膜理论的基础上,选取TiO2和SiO2为高、低折射率材料镀制了周期性多层介质高反射膜.研究了材料的光学及机械特性,重点解决了薄膜的消偏振和抗激光损伤问题.实验采用电子束真空镀膜并加以考夫曼离子源辅助沉积,利用TFC软件进行膜系设计,通过调整镀膜工艺参数和监控方法,在10mm×1.8 mm的K9基底上镀制了符合要求的高反射膜,结果表明,当激光以45°入射时,薄膜在900～1100 nm的p光与s光的反射率均大于99.95%.所制备的高反射膜性能稳定,抗激光损伤阈值高,能同时满足两种激光器的使用要求.
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Key words
Depolarization,High reflectance film,Laser-induced damage,Optical thin-film
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