激光共焦扫描显微镜在微机电系统中的应用

Yi-bo ZENG,Shu-sen JIANG,Cai-hong HUANG,Yu-long ZHANG,Yan ZHANG

Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering（2008）

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摘要

研究了激光共焦扫描显微镜(LSCM)在微结构分析中的应用,综述了该项应用的优势.LSCM的高分辨率和光强调节功能,使其可用于大角度测量;与图像处理系统相结合,便于微结构的定性和定量分析;而全自动样片台沿X轴和Y轴的自动扫描实现了图像的拼接功能.实验结果表明:运用LSCM测量的斜面最大角度至少可以达到50°;在悬臂梁的形貌分析中,可获得清晰的三维形貌,同时通过二维定量分析精确测得其形变为3.145 μm;在100×物镜下,运用拼接功能获得384 μm×288 μm的视场面积,解决了高放大倍数下,在单帧显微图像中无法获取所观测对象全貌的问题.LSCM在微结构分析中的应用弥补了其它形貌分析设备测量功能上的不足,提升了微机电系统的测试水平.

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关键词

Angle measurement,Laser Scanning Confocal Microscope (LSCM),Micro-electro-mechanical System(MEMS),Picture mosaic,Profile analysis

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