等离子体处理提高金属镀层与有机基底附着力的研究
Zhenkong Kexue yu Jishu Xuebao/Journal of Vacuum Science and Technology（2008）
摘要
利用反应磁控溅射技术在有机玻璃(亚克力板)上完成Al的膜层制备,并进行了膜层表面的光泽度、附着力和耐腐蚀性等研究.实验发现,采用这种技术制备的Al膜具有较高的光泽度.在Al膜上沉积一层氧化硅薄膜可以提高耐腐蚀性但不会对Al膜的光泽度产生影响.但是金属薄膜在有机基材上的附着力较差,大约在6 N左右.为此可以利用Ar、O2等离子体对有机玻璃表面进行清洗,或者在薄膜表面添加过渡层,即在镀膜之前先在基材上镀一层其他材料,然后再镀金属膜.实验发现环氧材料或SiO2作为过渡层,薄膜的附着力有显著提高.但需注意提高耐腐蚀性的同时不能影响薄膜光泽度和附着力.
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关键词
Adhesion,Al coatings,Magnetron sputtering,Plasma treatment
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