周期性梯度折射率多层膜的软X射线反射率
Guangzi Xuebao/Acta Photonica Sinica（2006）
摘要
由于界面互扩散的存在,实际的超薄多层膜很难具有清晰的界面结构.假设超薄多层膜为具有周期性梯度折射率的多层膜结构,用直线模型和余弦模型模拟了周期性梯度折射率多层膜的软X射线反射率.结果证明,折射率余弦渐变的多层膜虽然不具有清晰的界面,但它同样具有很高的反射率.
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关键词
Cosine model,Graded-index,Multilayer,Soft X-ray reflectivity
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