利用Michelson干涉仪测量CCD的调制传递函数
Bandaoti Guangdian/Semiconductor Optoelectronics（2005）
摘要
介绍了利用Michelson干涉仪测量CCD 调制传递函数的方法,与其他方法相比,该方法具有测量装置简单、将正弦图样投射到待测CCD阵列上无需借助光学系统等特点.给出了典型的线阵和面阵CCD的调制传递函数曲线的测量结果.
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关键词
CCD,Interferometer,Modulation transfer function
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