非致冷红外探测用VOx薄膜XPS价带谱研究

Bandaoti Guangdian/Semiconductor Optoelectronics（2005）

引用 0|浏览3

暂无评分

摘要

介绍了用XPS技术研究反应溅射制备的VOx薄膜;结果表明该方法制备的VOx薄膜大多是不同价态的混合物,其物相、成分与氧分压密切相关.XPS价带谱研究发现VO2+δ物相的薄膜最利于非致冷红外探测.

查看译文

关键词

Uncooled infrared detector,Valence band spectrum,VOx films,X-ray photoelectron spectroscopy

AI 理解论文

溯源树

样例

生成溯源树，研究论文发展脉络

Chat Paper

正在生成论文摘要