具有倾斜下电极的扭臂驱动结构的设计与制作
Pan Tao Ti Hsueh Pao/Chinese Journal of Semiconductors（2003）
摘要
分析了扭臂驱动结构的上电极端部位移与外加电压之间的关系,提出了一种具有倾斜下电极的驱动结构,并通过倾斜一定角度的(111)硅片的各向异性腐蚀制作了倾斜下电极.理论分析和实验结果表明,倾斜下电极的pull-in电压几乎比平面下电极的pull-in电压降低一半.
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关键词
Micromechanics,Optical switches,Slanted low electrode,Torsion beam
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