半导体激光微小振动实时干涉测量仪

设计了一种半导体激光干涉测量仪，可以实时测量物体的微小振动。通过信号处理电路对干涉信号进行分析，得到实际振动的振幅和频率。给出了具体的理论分析。实验结果验证了该干涉仪的实用性。