半导体激光微小振动实时干涉测量仪
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica(2001)
摘要
设计了一种半导体激光干涉测量仪,可以实时测量物体的微小振动。通过信号处理电路对干涉信号进行分析,得到实际振动的振幅和频率。给出了具体的理论分析。实验结果验证了该干涉仪的实用性。
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关键词
Interferometer,Laser diode,Optical testing,Real-time measurement
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