阻抗匹配对大气压氮气介质阻挡放电的影响
Zhenkong Kexue yu Jishu Xuebao/Journal of Vacuum Science and Technology（2013）
摘要
在介质阻挡放电装置中,使用阻抗匹配网络后,当气体间隙为3mm时,在大气压氮气中获得了均匀介质阻挡放电等离子体,放电模式为汤森放电.在其他放电参数不变的情况下,放电电流和放电功率随着外加电压峰峰值的增大先非常缓慢增加,然后当放电面积铺满整个电极后呈线性增加.而放电电流和放电功率随驱动频率的增加呈现出非常明显的谐振现象,实验所得到的最佳匹配频率和Chen给出的理论计算结果存在差异.
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关键词
Dielectric barrier discharge,Homogeneous discharge,Impedance matching
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