微圆弧金刚石刀具车削锗单晶衍射元件

锗单晶衍射光学元件具有特有的色散和温度特性，在红外光学领域，具有广阔的应用前景。衍射元件必须同时满足光学镜面及相位转变点的要求，采用微圆弧金刚石单点车削是解决这一途径的主要方法之一，但采用微圆弧刀具加工时，要求同时满足粗糙度和相位突变点是加工衍射元件的难点，因此，研究微圆弧金刚石刀具车削锗单晶衍射元件具有重大意义。基于DEFORM 3D切削仿真软件，对金刚石刀具车削锗单晶材料进行了仿真分析，分析了切削参数、刀具参数对锗单晶材料粗糙度的影响，并依据仿真试验结果优选切削参数以及刀具参数进行试验，R0.1mm微圆弧刀具车削单晶材料粗糙度达到4 nm。