密封空气型FBAR温度传感器
Yadian Yu Shengguang/Piezoelectrics and Acoustooptics（2012）
摘要
薄膜体声波谐振器(FBAR)是性能优良的压电换能器.通过在体硅刻蚀型FBAR背面密封空气的方法制作了密封空气型FBAR,研究了密封空气型FBAR用作温度传感器的可行性.实验结果表明,在20～100℃的温度范围内,密封空气型FBAR温度传感器的并联谐振频率随温度线性变化,且具有很好的稳定性与可靠性.
更多查看译文
关键词
Film bulk acoustic resonator,Piezoelectric transducer,Sealed air room FBAR,Temperature sensor
AI 理解论文
溯源树
样例
生成溯源树，研究论文发展脉络
Chat Paper
正在生成论文摘要