空间大规模CMOS面阵焦平面拼接技术

Chaoliang Yong,Jianchun Lin,Ming Zhao,Fansheng Chen

Hongwai yu Jiguang Gongcheng/Infrared and Laser Engineering（2012）

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摘要

为了提高空间遥感器的时间分辨率,采用更大规模的红外焦平面阵列和可见焦平面阵列是未来高时间分辨率空间遥感的发展趋势.目前,由于大规模阵列探测器受到CMOS工艺的限制,不能满足空间高时间分辨率发展的要求.为了满足大规模焦平面遥感应用的要求,提出了一种大规模阵列焦平面机械的拼接方法.该方法采用精密压电陶瓷电机,完成探测器焦平面的微米量级位置调整,并通过激光测距仪测量以及计算机平面拟合来确定探测器焦平面的空间位置,进而实现了大规模非连续CMOS焦平面阵列的机械式拼接.

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关键词

Detector assembly,Focal plane,Laser range finding

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