分子泵机组控制系统的设计

在高功率激光器系统中,使用空间滤波器是抑制光束高频成分的非线性增长、改善光束传输质量的有效措施之一。激光束在到达滤波器小孔位置时会发生空气击穿,因此管道内必须达到一定的高真空,通过对选用的分子泵机组内部控制电路的研究分析,设计了一套控制方案,很好地满足了空间滤波器特定的使用要求。