光学薄膜离子束辅助蒸发沉积技术新进展冯涛Modern Science(2010)引用 1|浏览2暂无评分摘要本文介绍了光学薄膜离子束辅助蒸发沉积技术的进展,介绍了离子源技术以及离子束辅助沉积技术对薄膜特性的影响。更多AI 理解论文溯源树样例生成溯源树,研究论文发展脉络Chat Paper正在生成论文摘要