UMC850三坐标仪故障修复

<正>1.设备及故障UMC850三坐标仪是德国ZEISS公司的高精度测量仪,使用环境20±3℃,设计分辨率0.2μm,测量范围X向850mm,Y向2340mm,Z向600mm。使用多年后,近期无法进行正常测量。仪器工作时Z轴运行声音异常,测量探头精度下降,分辨率由平时微米级降至毫米级。