磁激活增强等离子体化学气相沉积设备的研制
Journal of Zhoukou Normal University（2007）
Abstract
针对PECVD中等离子体的密度沿径向分布均匀性较差、空间气氛化学活性较差的问题,在PECVD的基础上加入电子发射源和正交电磁场以控制电子的运动,从而增强等离子场的强度和范围,使反应场的活力增加,以提高反应空间的活化能力,继而提高膜层质量.结果表明,该方法可以使等离子场的分布发生改变,可控制、调整等离子体密度及范围.
MoreTranslated text
Key words
magneto-active,PECVD,device
AI Read Science
Must-Reading Tree
Example
Generate MRT to find the research sequence of this paper
Chat Paper
Summary is being generated by the instructions you defined