Cr/Cr2O3多层膜的研究
Vacuum（2006）
摘要
用真空蒸镀及自然氧化方法在玻璃基底上制备纳米量级的4、5、6、7对层的Cr/Cr2O3多层膜.采用称重法测定薄膜的厚度;在常温和低温下使用三点法测定多层膜的电特性;用扫描电镜(SEM)观察薄膜的表面和截面的形貌及成分;用X射线衍射仪检测相结构.结果表明:制备的是纳米量级非晶态的Cr/Cr2O3多层膜,在常温和低温(77K)下均具有类似负阻的特性.
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关键词
multilayer thin fulm,vacuum evaporation,Cr/Cr_2O_3
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