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兼具VOA功能的1×2 MEMS光开关

郑洁,周日凯,马洪勇,胡强高,江山

STUDY ON OPTICAL COMMUNICATIONS（2009）

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Abstract
光开关和可变光衰减器(VOA)是光通信系统中的关键器件,而微电子机械系统(MEMS)技术是一种具有发展前景的光开关技术.文章提出一种兼具VOA功能的1×2 MEMS光开关,详细介绍了其原理,并且利用矩阵光学推导了插入损耗的计算公式.在设计了透镜的各项参数的基础上制作出了光开关样品,并且将样品的测试结果与计算的结果进行对比分析,指出这种光开关是具有实用价值的.
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