关于光学元件面形评价参数峰谷值(PV)的分析
Journal of Applied Optics（2010）
Abstract
光学元件的表面面形或波前质量一般采用数字指标峰谷值PV(表面最高点和最低点之差)来评价.而两点PV在高分辨率干涉仪的测量结果中具有很大不确定性.为了更准确地评价光学元件的表面面形或波前质量,讨论了针对两点PV进行改进后的评价方式PV20,PVr,PVq.通过模拟实验证明其可以描述真实波面,并在实验中证明其可以消除灰尘等杂点对测量结果带来的干扰,以及这几种评价方式对CCD分辩率的变化不敏感,并发现上述3种方式在测量重复性方面也有较好的表现.
MoreTranslated text
Key words
PVr,surface evaluating,PVq,PV20
AI Read Science
Must-Reading Tree
Example
Generate MRT to find the research sequence of this paper
Chat Paper
Summary is being generated by the instructions you defined