LIBS法测定薄膜组份比率精确度的研究

在常压空气环境下,利用脉冲激光作用于硅基铝酸镧薄膜,实验发现激光器能量为20 mJ,脉冲频率3 Hz,薄膜损伤小且能获得较好品质的光谱;并依据两分析元素光谱强度比与原子数比之间成一定的线性关系,对分析线的选择进行了实验研究,发现线性拟合度不仅与分析线对的选择有关,而且与分析样品元素比率大小有关。测量结果表明,当分析线对为La II 394.91 nm/Al I 394.40 nm时,其测量相对误差为0.59%;分析线对为La II 394.91 nm/Al I 396.15 nm时,相对误差是8.32%。可见合理选择分析线对有利于提高薄膜组份比率检测精确度。