空心阴极放电制备金刚石薄膜及其性能研究

以石墨为电极,Ar气为辅助气体,利用空心阴极等离子体放电在载玻片上成功地制备了无氢类金刚石(DLC,diamond-like carbon)薄膜。通过激光拉曼(Raman)光谱分析了所制备DLC薄膜的结构;利用扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)分析了薄膜的表面形貌;通过表面轮廓仪测量了薄膜的沉积速率;另外,试验中还利用摩擦磨损仪对薄膜的机械性能进行了研究。试验结果表明,制备的DLC薄膜比较致密均匀,粗糙度为8.1nm,有较好的耐磨性能。