一种基于AFM的金刚石刀具刃口锋利度的检测方法

金刚石刀具刃口纳米级别的锋利度是影响超精密加工表面质量特别是表面微观几何形貌的重要因素。针对目前测量中存在的问题,介绍了一种新的使用原子力显微镜(Atomic Force Microscope,AFM)进行金刚石刀具刃口锋利度检测的方法,该方法首先利用仿射变换进行截面数据提取,然后利用一种基于曲率的算法求出圆弧拟合点,最后进行了带约束的圆弧拟合,并给出了单截面钝圆半径的计算结果和误差分析。计算结果表明,该方法具有较高的计算精度,与一般圆评定方法相比更加真实地反映刃口轮廓情况。