沉积温度对硫化锌(ZnS)薄膜的结晶和光学特性影响研究
Acta Physica Sinica（2013）
摘要
对不同温度下沉积的ZnS薄膜的结晶情况和光学特性进行了研究,结果表明:沉积温度对ZnS薄膜的物理和光学特性有较大影响,不同的温度沉积的ZnS薄膜具有不同的择优取向,牢固度也大不相同;不同沉积温度下,ZnS薄膜的光学常数也不尽相同.温度为115℃和155℃时,ZnS薄膜的物理性能和光学性能较差,不适合空间用光学薄膜的研制使用.而190℃和230℃沉积温度下所得薄膜具有较好的物理和光学性能,适合于不同要求的空间用薄膜器件的研制使用.
更多查看译文
关键词
deposition temperature,optical constants,ZnS films,surface morphology
AI 理解论文
溯源树
样例
生成溯源树，研究论文发展脉络
Chat Paper
正在生成论文摘要