基于薄膜技术的微型六维力/力矩传感器

介绍了利用薄膜技术制作的微型六维力/力矩传感器。提出了在传感器弹性体铝合金基体上磁控溅射80Ni20Cr薄膜电阻应变计的加工工艺,说明了工艺的实现步骤。实验研究了几种常用的绝缘层材料,并采用Al2O3作为绝缘层材料。通过改进薄膜制作掩模纠正了绝缘层失效的问题。说明了引线键合实现传感器微型化及系统集成。并给出六维力传感器的主要静态精度指标。