脉冲等离子体推力器羽流沉积薄膜的结构与光学性质研究
Acta Physica Sinica（2013）
Abstract
为了研究脉冲等离子体推力器羽流污染特性,把握脉冲等离子体推力器羽流沉积薄膜性质,利用质谱仪对推力器羽流残余气体成分进行了分析,利用红外傅里叶光谱、光电子能谱及紫外可见光分光光度计对推力器羽流区阴极侧不同方位角处沉积薄膜的结构及光学性质进行了诊断.研究结果表明,推力器羽流中主要存在C,F,CF,CF_2和CF_3气体分子;在各方位角处脉冲等离子体推力器羽流沉积生成了低氟碳比碳氟薄膜;沉积薄膜微观结构以30°角为界在羽流不同区域中具有不同的变化趋势;羽流沉积薄膜具有对波长小于500nm的光低透射率及增强反射率的光学特性,受薄膜性质的影响,其光学特性具有极大的角度依赖性.
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Key words
X-ray photoelectron spectroscopy,pulsed plasma thruster,plume,Fourier transform infrared spectroscopy
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