两片大面积玻璃同时反应溅射沉积Al2O3均匀性试验
Vacuum（2011）
Abstract
本工作设计制作了一种新型的三段式反应气体进气系统.该进气系统由镀膜真空室内和室外两部分结构组成.真空室内的进气主管由三段进气分管组成,其上装有等间距的进气喷嘴.真空室外装有与各进气分管对应的流量调节针阀.调试反应溅射Al2O3均匀性的方法如下.首先粗调流量调节针阀,改变各进气分管间的反应气体进气流量分布,然后更换不同横截面积的进气喷嘴,进一步调节反应气体进气流量沿靶长度方向分布.交替重复以上调试过程2～3次,即可获得沿靶长度方向上反应溅射沉积均匀、透明的A12O3薄膜.本工作在高1650 mm,宽2440 mm的靶前后两块大面积玻璃上,试验沉积了Al2O3/Ag/Al2O3低辐射薄膜.结果表明沉积的低辐射膜在靶前后两块大面积玻璃上均匀性好,可见光吸收比相对标准偏差小于4％.
MoreTranslated text
Key words
uniformity,gas inlet nozzel,films,Al2O3,gas injection system,reactive sputtering
AI Read Science
Must-Reading Tree
Example
Generate MRT to find the research sequence of this paper
Chat Paper
Summary is being generated by the instructions you defined