开管退火对碲锌镉单晶片沉积相影响的研究

报道了一种CZT单晶片退火的新装置和新工艺,可以方便有效的对CZT单晶片进行开管退火。主要研究了氢气氛下加Cd源开管退火对CZT晶片中沉积相的影响。研究发现:经过开管退火处理后CZT晶片中的沉积相颗粒的密度和尺寸都明显减小,有效消除了Te沉积相,大颗粒的Cd沉积相尺寸也明显减小。