六氟丁二烯的制备技术进展

作为一种高效、环保的新型蚀刻气,六氟丁二烯已受到半导体行业的广泛重视。本文介绍了多年来六氟丁二烯合成方法的发展和未来动向。至今,六氟丁二烯的合成方法大部分都是围绕制备四卤六氟丁烷和卤化三氟乙烯基锌两类中间体进行,但从工业化生产的角度来看,目前并没有令人满意的合成路线。最后,通过系统评述各类方法的优缺点,展望了工业规模制备六氟丁二烯的发展前景。