SiO_2薄膜对太阳电池电学性能的影响

研究了SiO2薄膜对晶体硅片的钝化作用及其对太阳电池电学性能的影响.基于PC1D软件,对SiO2/SiNx双层膜结构的硅太阳电池进行模拟,分析了硅片前表面复合速率和体寿命对电学特性的影响.模拟结果表明,当前表面复合速率大于104cm/s时,电池输出特性线性衰降;当体寿命小于30μs时,电池的开路电压和短路电流随体寿命的增加而线性增加.对比研究了SiO2、SiNx和SiO2/SiNx3种薄膜对晶体硅片的钝化效果.结果表明,SiO2/SiNx钝化的硅片在退火处理后有效少子寿命提高,具有这种双层膜的太阳电池短路电流、开路电压、光电转换效率和量子效率都有明显改善.