a-Si/μc-Si叠层电池中间层材料SiO_x:H制备研究

YUE Qiang,ZHANG Xiao-dan,ZHANG He,ZHENG Xin-xia,WEI Chang-chun,SUN Jian,ZHANG Jian-jun,GENG Xin-hua,XIONG Shao-zhen,ZHAO Ying

Journal of Optoelectronics.Laser（2010）

引用 1|浏览17

暂无评分

摘要

为提高a-Si/μc-Si叠层太阳电池的效率,采用射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)技术,制备了系列n型掺磷硅氧(SiOx:H)薄膜作为中间层,研究了CO2/Si H4气体流量比、沉积功率和PH3掺杂浓度等工艺参数对材料光电特性的影响,获得了折射率、电导率和禁带宽度能够在较大范围内调控的SiOx:H薄膜。

查看译文

关键词

micromorph silicon tandem solar cells,doped silicon oxide,intermediate reflector

AI 理解论文

溯源树

样例

生成溯源树，研究论文发展脉络

Chat Paper

正在生成论文摘要