基于自参考的高精度红外点衍射干涉仪研制

杨朋千 Yang Pengqian, Stefan Hippler Stefan Hippler, Casey Deen Casey Deen, Wolfgang Brandner Wolfgang Brandner, Sarah Kendrew Sarah Kendrew, 缪洁 Miao Jie,张艳丽 Zhang Yanli,朱健强 Zhu Jianqiang

Chinese Journal of Lasers（2013）

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摘要

介绍了一种结构简单紧凑、可用于高精度实时相位波前测量的红外点衍射干涉仪,采用类迈克耳孙的光学结构,并结合低通小孔滤波,同时使用窗口傅里叶变换的方法解调单幅离轴载波条纹.与传统波前测量技术相比,所提出的准共光路的光学系统结构有效地抑制了系统像差及外部环境干扰等对测量结果的影响,实现高精度和高分辨率的波前探测.实验结果表明,该方法能够实现高精度的相位测量,且其重复精度达到了纳米量级.

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关键词

windowed Fourier transform,off-axis,beam splitter,point-diffraction interferometer,measurement

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