光学元件高反射比、高透射比测试技术研究

为了实现光学元件、光学薄膜等高反射比、高透射比的测量,以单次反射测量法为基础,并结合激光稳功率技术、双光路测量技术以及精密探测技术,建立了一套精密测试系统,实现对光学元件632.8nm和1 064nm两个波长下高反射比与高透射比的测量。实验和测量不确定度分析验证测试系统在632.8nm波长下高反射比与高透射比的测量不确定度优于0.008%,在1 064nm波长下高反射比与高透射比的测量不确定度优于0.015%。