流延法制备氮化铝陶瓷基板
RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERING(2008)
摘要
通过对粉料特性、流延工艺、流延带质量、排胶、烧结以及成瓷显微结构的研究,制得了结构均匀无裂纹的生料带,获得了热导率为248 W/mK的高性能氮化铝陶瓷基板.
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关键词
aluminum nitride substrates,tape casting,high thermal conductivity
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