PET有机薄膜表面的纳米DLC薄膜制备及结构研究

为了研究类金刚石膜的结构,采用射频等离子化学气相沉积的方法制备出类金刚石薄膜,傅立叶红外透射光谱对沉积薄膜进行结构成分分析。结果表明,采用射频等离子体化学气相沉积方法,可以在很短时间内于PET瓶内沉积一定纳米厚度的DLC膜,但受到电极的影响较大。选用不同大小的电极,所制备的DLC的结构不同,薄膜中sp2和sp3比例和放电功率有较大的关系。同时发现薄膜的成分受乙炔在氩气中的比例影响,提高功率是减少沉积时间的主要手段。