YBa_2Cu_3O_(7-δ)/Ba_(0.05)Sr_(0.95)TiO_3双层膜的制备及微波频率下的介电性能研究

LI Na,XIA Feng-jin,WANG Xu,XU Yun-hui,BAI Dan-dan,SUN Liang,HE Yu-sheng

Chinese Journal of Low Temperature Physics（2013）

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摘要

利用脉冲激光沉积(PLD)技术,在MgO衬底上外延生长YBa2Cu3O7-δ/Ba0.05Sr0.95TiO3薄膜.使用光刻和离子束刻蚀技术,将顶电极制作成插指状,构成BST平面插指电容,研究Ba0.05Sr0.95TiO3薄膜在微波频率下的电调谐性能.测试结果表明:在76K,外加直流偏压从0V变到160V,Ba0.05Sr0.95TiO3薄膜的相对介电常数从1160降低到252(可调率约为78%),变容器的损耗角从0.02降到0.009.该YBa2Cu3O7-δ/Ba0.05Sr0.95TiO3异质结薄膜介电可调率高,损耗正切小,与国际最好水平相当.

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关键词

tunability,YBa2Cu3O7-δ thin film,loss tangent,Ba0.05Sr0.95TiO3 thin film

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