多晶硅片少子寿命的影响因素研究与分析

为了提高多晶硅片的转换效率，提高多晶硅片少子寿命是一个重要的方法和途径，然而在生产过程中影响多晶硅片少子寿命的因素有很多，主要有杂质含量，硅片厚度及晶粒尺寸均匀性等。通过对分凝原理的研究，利用微波光电导测试原理对多晶硅锭少子寿命的分布做了分析，并对硅片厚度及晶粒尺寸进行研究，经过研究发现，多晶硅片少子寿命主要受原料金属杂质含量的大小，硅片厚度及晶粒尺寸均匀性等因素的影响。