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影响AlGaN/GaN HFET器件二维电子气的若干因素

Micronanoelectronic Technology(2011)

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摘要
基于Sentaurus Workbench(SWB)TCAD可制造性设计平台进行AlGaN/GaN器件的结构设计和仿真,并对影响二维电子气的重要参数因素进行了研究及优化,诸如AlGaN势垒层中Al组分x、AlGaN势垒层厚度h、应变弛豫度r和栅偏压Vg等因素。参数相关性的制约结果,无疑会反映在对器件物理特性的制约及影响上。研究结果表明,在一定条件下增大势垒层中Al组分和势垒层厚度可以提高器件的电流传输特性。然而随着二者的不断增大将会引起应变弛豫的发生,而应变弛豫的发生会降低器件的性能。
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关键词
spontaneous polarization,heterostructure field effect transistor(HFET),piezoelectric polarization,AlGaN/GaN,two-dimensional electron gas(2DEG)
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