一种MEMS谐振梁的热弹阻尼分析

热弹阻尼是高Q值微结构器件能量耗散的主要机理,文中介绍解析理论评估热弹阻尼,但此理论只适用于简单模型。对于复杂模型的分析,采用数值计算方法。文中利用有限元分析方法评估一种MEMS谐振器中由于热弹阻尼引起的能量耗散,并考虑电极、材料特性等因素的影响。有限元计算结果与实际实验结果一致性良好,从而为高Q值MEMS谐振器的设计提供了有力的设计方法。